电子显微镜真空系统常见故障及对策

首先检查炉丝供电电源，然后查炉丝是否烧断。进一步可查冷却水及停水报警系统，如正常，可继续检查扩散泵微动开关及控制微动开关的前置电磁阀、继电器，找出哪一部件不工作，采取相应的措施解决。

2. 扩散泵工作效率低

检查硅油的质量和数量，是否符合规定的要求，可进行更换及补充。然后可查靠近扩散泵的阀门及密封圈，以及冷却水的温差，这些都可引起硅油蒸发流失，从而导致工作效率降低。

真空管道包括镜筒、镜筒上各对外窗口及连接泵和泵、泵与镜筒之间的各种真空排气通道。

a. 镜筒： 镜筒由成像系统和记录系统所组成，主要故障为经常动作的地方，如样品杆，样品室，电子枪，暗室门等密封圈的磨损，变形、老化等，要经常检查或涂抹一些真空脂。

b. 管道： 管道的故障多发于橡皮螺纹管的老化，接口松动，以及突然停电所造成的阀门来不及放气，由于负压的作用，泵油倒灌流抵三向通道的小活塞间。增加气阻，而造成真空抽不上去。解决的办法依次为更换、拧紧及清洗污染。

真空管道的漏气有时较难查明，这里介绍另外 2 种常用方法。

①灵活观察法

对真空的突漏，可观察所动过或拆卸过的部位，看是否有漏气现象，做相应的处理。

②逐级闷盖法

这种方法要求熟悉真空系统通道结构及阀门的作用，利用本机阀门及外加闷盖将真空系统通道逐步隔绝，以便缩小检漏部位。一般电镜均可利用本机阀门将扩散泵真空部位与镜筒真空部位进行隔绝，然后再从需检漏通道的机械泵一端逐段向外扩展进行逐级检漏，这样很快可找到漏气部位。

请您登录后阅读全文，登录或者注册